客服热线:400-870-8118
邮 箱: sales@sdhr2016.com
公司地址:山东省济南市莱芜高新区鹏泉街道泰山路31号创微医疗科技产业园
网 址: www.sdhr88.com
安徽某半导体公司除氟项目
项目概况:
在半导体制程清洗、湿法刻蚀等工序中,会使用氢氟酸、氟化铵以及高纯水清洗,在干法蚀刻使用其他多种含氟化合物,例如四氟化碳、四氟化硅等等。氢氟酸废水主要在这两个领域产生,其中废水中含氟浓度可以达到1000~3000 mg/L。
水质情况:
原水氟含量 | 8-15 mg/L |
处理水量 | 4000m3/d |
排放标准 | < 1mg/L |
使用药剂 | GMS-F4 |
处理效果 | 出水稳定在0.8mg/L以下 |
处理难点:
污染物浓度较高,如氟、氨等,废水一般呈强酸性。
目标要求:
出水稳定在0.8mg/L。
环瑞工艺:
F4深度处理絮凝沉淀工艺
处理优势:
(1)产品硬度较低,不易造成系统管道等组件堵塞;
(2)反应速度快,只需15-20 min;
(3)能真正将废水中氟化物降低至1 mg/L以下。
现场照片: